X射线荧光光谱法的定量分析是以荧光X射线的强度为依据的，因此，一切影响X射线荧光光谱仪射线强度的因素都必将影响分析的准确度。
1、基体效应
基体效应包括吸收效应及增强效应两种效应。
吸收效应包括基体对入射X射线的吸收及对荧光X射线的吸收。因为用入射X射线激发样品时，它不只是作用于样品表面而且能穿透一定的厚度进入样品内部，同样，样品内部分析元素产生的荧光X射线，也必须穿过一定厚度的样品才能射出。显然，在穿透过程中，这两种X射线都会因基体元素的吸收而使其强度减弱，入射X射线强度的减弱会影响对分析元素的激发效率，而X射线荧光强度的降低则直接影响分析准确度。
若入射X射线使某基体元素激发所产生的荧光X射线的波长稍短于分析元素的吸收边，它便会使分析元素ipA发产生二次荧光X射线，从而使分析元素的荧光X射线强度增强，这就是墓体的增强效应。
如果吸收效应占主导地位，则分析结果偏低，如果增强效应占主导地位，则分析结果偏高。
2、不均匀效应
不均匀效应系指样品颗粒大小不均匀及样品表面光洁度对荧光X射线强度的影响。对于粉末样品，大颗粒吸收效应强，小颗粒吸收效应弱，因此，要求颗粒粒度尽量小一些，以减少对X射线的吸收。测员短波X射线时，一般要求粒度在250目以上，‘测量波长大于0.2nm的长波x射线时，则要求粒度在400目以上。
固体块状试样的丧而一定要磨平抛光，对粉末试样则要求压实并使表面平滑。粗糙表面会使荧光X射线的强度明显下降。测量短波X射线时，要求光洁度在1005m左右，测量长波X射线时，光洁度为20-50Mm。
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